激光刻蝕技術(shù)原理

激光刻蝕的基本原理是將高光束質(zhì)量的小功率激光束（一般為紫外激光、光纖激光）聚焦成極小光斑，在焦點處形成很高的功率密度，使材料在瞬間汽化蒸發(fā)，形成孔、逢、槽。其加工工藝包括激光微納切割、劃片、刻蝕、鉆孔等。

激光刻蝕技術(shù)特點

激光刻蝕的特點是利用激光具有的無接觸加工、柔性化程度高、加工速度快、無噪聲、熱影響區(qū)小、可聚焦到激光波長級的極小光斑等優(yōu)越的加工性能，獲得良好的鉆孔、劃片、刻蝕和切割尺寸精度和加工質(zhì)量，尤其是與某些材料（如聚酰亞胺）相互作用是屬于“光化學(xué)作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果，在電子半導(dǎo)體材料加工中應(yīng)用十分廣泛。

元祿光電激光刻蝕參數(shù)表

紫外激光刻蝕技術(shù)典型應(yīng)用

1）薄膜激光刻蝕應(yīng)用

優(yōu)點：  

高重復(fù)率，高功率 
快速材料去除率 
無化學(xué)腐蝕對環(huán)境的污染

ITO鍍膜激光刻蝕機是由激光對ITO Glass和ITO Film上的ITO鍍膜實施電極刻蝕加工的精密設(shè)備。可在玻璃、PET基底上ITO鍍膜、多晶膜和其他氧化物薄膜上大范圍內(nèi)進行各種圖案，各種尺寸的精密、高速刻蝕，加工多種電極。尤其適用于手機觸摸屏的電極刻蝕。

ITO玻璃激光刻蝕

2)太陽能電池激光劃片應(yīng)用

優(yōu)點： 

整機結(jié)構(gòu)合理、劃片速度快、精度高、功能全、合項性能指標穩(wěn)定可靠，故障率低非接觸加工加工成品率高，適用面廣

操作簡單方便，能24小時長期連續(xù)工作，節(jié)能環(huán)保

采用圖形化用戶界面（GUI），友好的人機界面，可實時顯示切割軌跡，操作簡單直觀 

可選配圖像自動識別處理和定位功能

太陽能電池是通過光電效應(yīng)或者光化學(xué)效應(yīng)直接把光能轉(zhuǎn)化成電能的裝置。薄膜太陽能電池生產(chǎn)的流程：準備基板（TCO導(dǎo)電玻璃）——玻璃磨邊——玻璃清洗——1064激光劃線——二次清洗——裝夾具升溫預(yù)熱——PECVD沉積非晶硅膜——冷卻卸夾具——635激光劃線——PVD磁控濺射AL——635激光劃線——測試——老化——激光清邊——三次清洗——焊電極線——層壓——裝邊框。對薄膜太陽能電池進行激光劃片，熱影響區(qū)小，劃線質(zhì)量優(yōu)越。無接觸式加工避免刀片加工產(chǎn)生的應(yīng)力，可以有效提高硅片改片的優(yōu)等品率，同時對電池片劃線質(zhì)量也有很大的改善。可選配CCD圖像處理系統(tǒng)，實現(xiàn)特殊規(guī)格電池片的精密劃線。

光伏太陽能電池激光刻蝕

3)激光清邊 

優(yōu)點：

不需使用任何化學(xué)藥劑和清洗液，綠色環(huán)保 

非接觸式清洗，無機械作用力，無變形，效率高，節(jié)省時間 

可達到常規(guī)清洗無法達到的清潔度 

還可在不損傷材料表面的情況下有選擇性地清洗材料表面的污染物

激光清邊速度快并且無污染，通過界面友好的專用控制軟件，可完成多路激光同時工作。可用于非晶硅薄膜太陽能電池板周邊鍍膜的刻線絕緣、掃除和清理。

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